困难挑战

既有CMS系统问题：

· 旧系统无法实时通讯，延误及时修正瑕疵制程时效。

· 各套系统均无法提供历史数据查询机制，导致数据粒度不足，致使制程分析人员无法有效分析事故原因。

· 无法实时预知泵现况，导致机台非计划性停机，进而影响产品良率。

· 不同设备，不同的应用程序系统，操作逻辑与警报显示方式均不一致。

· 系统应用程序无法自行修改或新增，造成系统维护的困扰。

· 系统建置后，因供货商无应用程序系统维护能力，常延误系统正常运转。

挑战：

· 为了符合不同的流程需求，及风险分散的概念，本案例中所采用的二千多台真空泵(DryPump)各分别为不同厂牌，所使用的通讯协议(Protocol)、通讯连接接口均异。

· 传统 CMS 系统(Central Monitoring System)每台计算机只能连接 40 台 Pump，而本案例的厂区设备数量超过两千多台。

· 单一图控软件仅能建立 200~300 个联接点(Connection)的限制，而本案例的厂区设备接点超过 10 倍之多。

解决方案

为了解决已知的难题，采用支持多个 Serial Port 的设备，取代各厂商所提供之 PC，避免硬盘损坏，同时可以几十秒内重新启动设备，达到快速上线。

1. 此设备上的微处理器能力，可以连接十六台不同厂牌、型号、通讯协议之 Pump。

2. 以单口方式连接泵，方便 PM 工作时待修或故障之 泵的快速替换。

3. 所有设备透过 以太网方式连接至上位监控系统，不论厂牌型、型号，皆在同一操作逻辑下运作，以符合业主利益。

4. 两台备援的监控计算机监看所有厂区内的泵，并且长时间记录下所有泵运转的相关警报与数据。

执行成效

1. 实时信息呈现
SCADA 端装置 HMI 软件，透过标准 Modbus 之通讯方式接收1500CPU收集的数据，整合提供值班人员监视干燥泵状况。

2. 提高通讯效率
每一台干燥泵独立拉设一条隔离通讯网络线到1500CPU的专用通讯端口，增加数据通讯速度并降低断线时影响层面。

3. 提升维护能力

将分属不同厂商真空泵(DryPump)做统一性的整合。

所建置架构为开放平台，开放源码让后续维护更完整快速。

规划以备援环形网络为主干，以1500CPU为控制核心的架构，接收 干燥泵之运转状态，传送至厂务中控室监控计算机，再透过 Massage bus 转至 FDC 系统。

创造价值

累积长期数据于数据库中，透过报表工具验证泵厂商所提出的设备妥善率参数，如 MTBF、MTTR 是否合理，达到设备运转时数最大化。

透过所提供的实时监控信息，分析停车事件原因、次数与发生期间再分析停车发生期间的因素与时数，改善与缩短停车时间，进而提升生产机台运行时数。