从中央化学品供应系统（CDS）/ 化学品分配柜（CMD），到终端工艺设备（如 CMP、刻蚀、扩散机台）之间的末端精密输配管线，负责将高纯 / 腐蚀性化学品安全、无杂质、无混液地送达设备使用点（POU）

施工前准备

l 核对UM/UT 设备接口表，确认口径、压力、流量与设计一致。

l 材料进场核验：材质证明、洁净度报告、密封件兼容性证书。

2. 施工过程控制

l 洁净施工：二次配预制在洁净小室完成，密封搬入洁净区；施工工具专用无油污。

l 焊接与连接：

l 不锈钢管：全自动轨道氩弧焊，充氩保护，无氧化色。

l PFA 管：热熔对接焊，焊缝光滑无台阶，避免气泡 / 夹渣。

l 防静电与防污染：不锈钢管与碳钢支架间加 PTFE 隔离垫；穿楼板 / 墙体设套管，间隙填塞不燃材料。

l 坡度设计：管道保持≥1% 坡度，确保自排空，无滞留死角。

设计案例：