系统组成：

化学品供应柜 / 储罐 → 输送主管路 → 阀箱（Valve Box）→ 机台端使用点

伴热 / 保温管路、氮气吹扫管路、泄漏检测回路、废气收集管路

配套：过滤器、调压阀、流量计、紧急关断阀

管道材质要求（半导体级标准）

l 高洁净 PFA/PTFE 管：抗强腐蚀、低析出、无颗粒脱落，主流药液输送

l SUS316L EP/BA 不锈钢管：电解抛光 / 光亮退火，内壁粗糙度 Ra≤0.5μm，气体 / 超纯水用

l PVDF 管：耐酸碱、耐高温，常用于废水与部分化学品

l 严格禁铜、禁锌、禁杂质金属，避免金属离子污染晶圆

设计案例：