系统介绍

特殊气体二次配管道（又称 Hook-up），是指从车间主分配系统（VMB/VMP）到终端工艺设备（如刻蚀机、CVD 机台）的末端精密输配管线

l 超高纯度输送：保证气体纯度≥99.9999%（6N），无杂质污染。

l 精准流量 / 压力控制：满足半导体工艺 “波动即良率损失” 的严苛要求。

l 安全防护：防泄漏、防爆、紧急切断（ESD）。

l 洁净环境适配：在 Class 100/1000 洁净室施工。

施工与验收要点

l 焊接：全自动轨道氩弧焊（无焊点、无氧化）

l 洁净处理：脱脂、酸洗、钝化、高纯氮气吹扫

l 检测：

l 氦检漏：系统整体泄漏率达标

l 颗粒 / 水分检测：确保无杂质

设计案例