化学监控系统（CMS, Chemical Monitoring System） 是半导体 / 面板厂务系统的核心，负责化学品输送、浓度、压力、温度、泄漏、流量的实时监控、报警与联动控制，确保工艺稳定、人员安全、环保合规。

位置：覆盖CDS（中央化学品供应）→ CMD（分配柜）→ 二次配 → 机台全流程

系统功能介绍

1. 实时在线监测24小时连续监测化学品浓度、气体、温度、压力、pH、液位等关键参数。

2. 多级智能报警 超标自动声光/短信/APP报警，支持预警、告警、紧急联动处置。

3. 数据采集与存储 自动采集、长期保存历史数据，支持趋势曲线查看与追溯。

4. 自动报表与合规 生成监测日报、月报、报警记录，满足环保、安全、体系审核要求。

5. 远程监控管理 电脑/手机远程查看，支持多终端集中监控与状态实时同步。

6. 安全联动控制 与排风、切断阀、喷淋等设备联动，异常时自动执行安全动作。

7. 泄漏与异常定位 快速识别泄漏、超温、超压等风险，定位异常点位。

设计案例：