主系统介绍

从高压电网 / 外部变电站引入，经厂区总变电站降压、分配，输送至各厂房变电所的高压主供电系统，是半导体工厂电力供应的源头与主干。

·  高可靠性要求 N+1、2N 冗余，避免瞬间断电导致晶圆报废。

·  高稳定性低电压波动、低谐波、无频繁跳闸。

·  高安全性防火、防爆、绝缘监测，符合 NFPA / IEC 标准。

·  可扩容性预留母线间隔与变压器容量，适配后续制程升级。

在电力系统实施中，我们需要考虑电力干扰对业主工厂的成本、过程效率和良品率影响重大，因此可靠的、有弹性的电力供应是 工厂的差异化优势之一。

设计案例