解决方案
系统介绍
一次配电系统(10kV 高压) 经变压器降压为380V/220V 低压电后,直接向洁净室、工艺机台、动力设备供电的末端配电系统,也是电力最终接入设备的环节。
主要应用于
光刻机、刻蚀机、薄膜沉积等核心工艺设备供电
洁净室 FFU 风机、空调、温湿度系统供电
特气柜、化学品输送、尾气处理系统供电
厂务监控、安防、消防等辅助系统供电
某设备二次配设计案例